Стандартные сеточные источники
- НТК "Платар" -

СТАНДАРТНЫЕ СЕТОЧНЫЕ ИСТОЧНИКИ

    НТК "Платар" производит целый ряд стандартных сеточных источников серии КЛАН. Оборудование – недорогое и предназначено для широкого круга пользователей.
   Источники комплектуются дополнительными узлами и элементами (ИОС, ГРК, аноды, катоды, изоляторы и т. п.), что обеспечивает возможность быстрой замены узлов, например, при чистке ИИ.
    Кроме того, наличие нескольких узлов ИОС с разными типами сеток позволяет при помощи одного источника ионов получать пучки с различными характеристиками, т.е. использовать один и тот же ИИ для разных задач (травление, напыление, ассистирование, очистка).


Нанотехнологии   Сеточные источники ионов     Сопутствующие системы  Холловские источники ионов  О компании 

   Основные характеристики стандартных сеточных источников приведены в таблице.

Параметр
Модель
КЛАН-23М
КЛАН-52М
КЛАН-53М
КЛАН-54M
КЛАН-103М
КЛАН-104M
КЛАН-105М
КЛАН-163М
1. Тип источника ионов
с холодным катодом
с накальным катодом
с холодным катодом
радиочастотный 13,56 МГц
с накальным катодом
с холодным катодом
радиочастотный 13,56 МГц
радиочастотный 13,56 МГц
2. Рабочие газы
инертные,
N2, смеси O2 и др.
инертные,
N2, H2
инертные,
N2, смеси O2 и др.
инертные,
N2, O2,
C2H 8 и др.
инертные,
N2, H2
инертные,
N2, смеси O2 и др.
инертные,
N2, O 2,
C2H8 и др.
инертные,
N2, O 2,
C2H8 и др.
3. Выходной диаметр пучка
2 см
5 см
10 см
16 см
4. Энергия ионов
50 - 1500 эВ
5. Ионный ток
до 20 мА
до 100 мА
до 300 мА
до 400 мА
6. Расход газа
2 - 3 см3/мин
2 - 4 см3/мин
3 - 7 см3/мин
6 - 10 см3/мин
4 - 8 см3/мин
5 - 10 см3/мин
6 - 15 см3/мин
12 - 18 см3/мин
7. Рабочее давление
не более (2-4) 10 -2 Па
8. Охлаждение
требуется
не требуется
требуется
требуется
не требуется
требуется
требуется
требуется
9. ИОС
двухсеточная, трехсеточная, плоская, выпуклая, вогнутая
материал - молибден, титан
10. Катод-нейтрализатор
накальный погруженный (непогруженный)
(другие типы - по заказу)
11. Наружный диаметр
62 мм
100 мм
150 мм
232 мм
На предыдущую страницу К началу страницы На следующую страницу

E-mail: lag@platar.ru