Основные характеристики стандартных сеточных источников приведены в таблице.
№ | |||||||||||
1. | Тип источника ионов | ||||||||||
2. | Рабочие газы | N2, смеси O2 и др. |
N2, H2 |
N2, смеси O2 и др. |
N2, O2, C2H 8 и др. |
N2, H2 |
N2, смеси O2 и др. |
N2, O 2, C2H8 и др. |
N2, O 2, C2H8 и др. |
||
3. | Выходной диаметр пучка | ||||||||||
4. | Энергия ионов | ||||||||||
5. | Ионный ток | ||||||||||
6. | Расход газа | ||||||||||
7. | Рабочее давление | ||||||||||
8. | Охлаждение | ||||||||||
9. | ИОС | материал - молибден, титан |
|||||||||
10. | Катод-нейтрализатор | (другие типы - по заказу) |
|||||||||
11. | Наружный диаметр |